سیستم PVD ترکیبی بر اساس فرایندهای قوس کاتدی و پراکندگی عمل می کند. در رسوب قوس کاتدی، از یک قوس الکتریکی برای بخار شدن مواد از یک هدف استفاده می شود، در حالی که در پاشش اتم ها در نتیجه بمباران هدف توسط ذرات پر انرژی از هدف خارج می شوند. سپس ماده بخار شده / خارج شده روی یک لایه متراکم شده و یک لایه نازک تشکیل می دهد. PVD ترکیبی به طور گسترده ای برای سنتز فیلم های بسیار سخت برای محافظت از سطح ابزار برش و افزایش عمر آنها به طور قابل توجهی استفاده می شود.
مزایای استفاده از فناوری نانو:
طیف گسترده ای از فیلم های نازک سخت، پوشش های فوق العاده سخت ساختار نانوایی و پوشش های نانوکامپوزیت می تواند توسط این سیستم ایجاد شود.
کاربرد:
رسوب لایه های نازک سخت، پوشش های فوق العاده سخت و پوشش های نانوکامپوزیتی، از جمله TiN ، TiAlN، CrN ،ZrN ، AlCrTiN و TiAlSiN.
مجوزها و تائیدیه ها:
گواهی نانو مقیاس